PS壓力傳感器是一種使用半導體膜片構造制成的電子式壓力傳感器，它可將空氣壓力這一物理質變換成電信號, 并能夠高精度、線性地檢測出壓力的改動。它是松下電工公司近年推出的新產品。 早在1954年美國C.S.Smith首要確認了半導體壓電電阻效應，1955年C.Herring指出：這種壓電電阻效應是因為應力的作用，導致導體與價電子帶能量狀態(tài)的改動，以及載流子數量與遷移率改動所發(fā)生的一種表象。日本從1970年開端研討開發(fā)，首要使用在血壓計上，以后在過程操控范疇及汽車發(fā)動機操控有些都取得了廣泛的使用。近來幾年在家用電器、安裝機器人等使用范疇遍及選用電子壓力傳感器作為壓力操控、壓力監(jiān)控和判別真空吸附的作用。 作業(yè)原理 PS壓力傳感器的截面構造，其傳感器有些的構造。如圖所示，在壓力傳感器半導體硅片上有一層分散電阻體，假如對這一電阻體施加壓力，因為壓電電阻效應，其電阻值將發(fā)生改動。遭到應變的有些，即膜片因為簡單感壓而變薄，為了減緩來自傳感器底座應力的影響，將壓力傳感器片安裝在玻璃基座上。 當向空腔有些加上必定的壓力時，膜片遭到必定程度的拉伸或縮短而發(fā)生形變。壓電電阻的擺放辦法，遭到拉伸的電阻R2和R4的阻值增加；遭到緊縮的電阻R1和R3阻值減小。 因為各壓電電阻如圖4那樣構成橋路構造，假如將它們連接到恒流源上，則因為壓力的增減，將在輸出端取得輸出電壓ΔV，ΔV的巨細由下式決議： 在（1）式中，當壓力為零時的ΔV等于偏置電壓Voffset,在抱負狀態(tài)下咱們期望Voffset=0V，實際上在生成分散電阻體時，因為所構成的分散電阻體尺度巨細的不一樣和存在雜質濃度的細小區(qū)別，因而總是有某個電壓值存在。壓力為零時，R1=R2=R3=R4=R，咱們把加上必定壓力時R1、R2電阻的改動有些記作ΔR；相應R3、R4電阻的改動有些記作-ΔR，所以（1）式就簡化為下式： ΔV=ΔRI （2） 這個ΔV相對壓力出現簡直*線性的特性，僅僅跟著溫度的改動而有所改動。 外圍電路的規(guī)劃 PS壓力傳感器的外圍電路規(guī)劃實例，圖中用恒流源來驅動壓力傳感器。 因為橋路失衡時的輸出電壓比較小，所以有必要用運放IC1b和IC1C來進行放大。圖中VR1為偏置調整，VR2為壓力靈敏度調整，VR3為沒有加壓時輸出電壓調整，C1、C2用于去掉噪聲。別的，假如電源電壓動搖的話，將導致輸出電壓的改動，所以有必要給電路供給一個安穩(wěn)的電源。 使用實例 PS壓力傳感器在全主動洗衣機中的使用實例。如圖所示，使用氣室，將在不一樣水位情況下水壓的改動，作為空氣壓力的改動檢測出來，然后能夠在設定的水位上主動中止向洗衣機灌水。 | 
